電感耦合等離子體發(fā)射光譜分析法在物理學、化學、生物學和天文學等基礎學科的研究中，以及冶金、地礦、建材、機械、化工、農業(yè)、環(huán)保、食品和醫(yī)藥等國民經濟重要部門，都有廣泛的用途。包括：

1)冶金工業(yè)和金屬合金分析

電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀分析法是傳統(tǒng)的應用領域之一。主要包括坯料和半成品快速半定量分析(用于金屬材料分類，機械零部件的不破壞分析，金屬和合金中少量元素和痕量元素的測定，金屬中微量夾雜物分析，金屬的局部、薄層和逐層分析，金屬合金中氣體分析，爐渣分析，爐前快速分析，以及純金屬中雜質分析等。

(2)地質勘探工作中分析

電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀分析法主要包括根據(jù)全國儲量委員會的要求，研究礦樣的成分；初步定性與半定量分析，弄清元素的大概含量，以便選擇進一步分析的化學分析方法；地球化學樣品多元素同時分析；稀散、稀貴和稀土元素等稀有元素的定量分析，痕量元素的定量分析，微粒單礦物和微粒包裹體的鑒定分析。

(3)環(huán)保、農業(yè)和生物等樣品分析

電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀分析法在環(huán)境保護、農業(yè)和生物等樣品分析方面的應用，主要包括空氣、大氣漂塵及顆粒物分析、土壤和肥料分析、植物、動物和有機灰分分析，以及天然水和污水分析等。雖然發(fā)射光譜法在這些領域的應用，目前還不如冶金和地質樣品的分析普遍，但出于這些領域在國民經濟中所具有的重要地位，和發(fā)射光譜法在解決這些領域分析問題方面所具有的潛力，正在受到廣泛的關注。特別對于某些痕量元素，如B、Co、Cu、Mn、Mo和Zn等，盡管在空氣、水和生物組織中的含量極低，但對植物和動物的生長發(fā)育，人類的健康有著密切關系。而ICP發(fā)射光譜儀分析法是測定這些痕量元素十分有效的方法之一。

(4)天文學研究分析

①天體星球化學組成的研究：曾采用發(fā)射光譜分析法發(fā)現(xiàn)太陽和各星球中存在著許多與地球上相同的元素(太陽上發(fā)現(xiàn)的元素已達66種)。另外還發(fā)現(xiàn)一些未能確定的光譜線，它們可能是在地球上不存在的元素的譜線，也可能在天體上的非尋常的激發(fā)條件(在地球上難于得到這種條件)下所得到的地球上亦存在的元素的譜線。

②星球運動速度與方向的研究：光譜線的多普勒效應，可用來測定星球的運動速度與轉動等情況，發(fā)射光譜法能發(fā)現(xiàn)望遠鏡所都能發(fā)現(xiàn)的雙星(如果假說雙星是兩個依次輪流向地球移近和移遠的物體，雙星的光譜線周期性地變成雙線)。

③星球的溫度測量根據(jù)不同譜線的強度比，可以測量星球的溫度(其原理與各種等離子體溫度測量方法相同)。

隨著電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀的發(fā)展，它的應用范圍也逐步擴大，現(xiàn)在該儀器的運用已成為一種不可缺少的分析研究手段，同時促進了相關檢測儀器的發(fā)展。