合作伙伴：甘肅某半導(dǎo)體企業(yè)

儀器類型：電感耦合等離子體質(zhì)譜儀

品牌：安捷倫

型號：ICPMS 7700X

2023年10月10日，甘肅某半導(dǎo)體企業(yè)購買安捷倫電感耦合等離子體質(zhì)譜儀ICPMS7700X，安裝調(diào)試完畢，感謝客戶的支持與認可！

與傳統(tǒng)無機分析技術(shù)相比，電感耦合等離子體質(zhì)譜儀ICP-MS技術(shù)提供了最低的檢出限、最寬的動態(tài)線性范圍、干擾最少、分析精密度高、分析速度快、可進行多元素同時測定以及可提供精確的同位素信息等分析特性。

硅片是信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)中半導(dǎo)體制造業(yè)的基礎(chǔ)材料, 硅片在制作使用過程中的金屬雜質(zhì)控制與檢測是關(guān)乎產(chǎn)品性能的重要手段與指標(biāo)。在制造工藝生產(chǎn)過程中硅片表面極其少量金屬污染的存在都有可能導(dǎo)致器件功能失效或可靠性變差, 有統(tǒng)計表明, 在電力電子元器件和光伏產(chǎn)品制造業(yè)中50%產(chǎn)品良率的降低都是由于污染造成的,因此在制造生產(chǎn)過程中對硅片表面雜質(zhì)污染的控制極為重要，檢測規(guī)范非常嚴格。
 

隨著ICP-MS (電感耦合等離子體質(zhì)譜分析法)技術(shù)的不斷革新,以吸其杰出的超痕量級檢測性能和多元素同時快速分析能力, 現(xiàn)已成為硅片表面污染測試監(jiān)控中必不可少的手段。硅片表面污染測試既是硅片制造過程中必不可少的監(jiān)控手段,也是提升后道器件性能的重要方法與依據(jù)。電感耦合等離子體質(zhì)譜分析法通過不斷革新,已具備出的超痕量級檢測性能和多元素同時快速分析能力,已被成熟使用多年,亟需制定相關(guān)產(chǎn)品標(biāo)準。

國家標(biāo)準《硅片表面金屬元素含量的測定電感耦合等離子體質(zhì)譜法》GB/T 39145-2020

本標(biāo)準規(guī)定了電感耦合等離子體質(zhì)譜法（ICP-MS）測定硅片表面金屬元素含量的方法。
本標(biāo)準適用于硅單晶拋光片和硅外延片表面痕量金屬鈉、鎂、鋁、鉀、鈣、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、鋅元素含量的測定，測定范圍為108 cm²～1013cm²。本標(biāo)準同時也適用于硅退火片、硅擴散片等無圖形硅片表面痕量金屬元素含量的測定。