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8月30日安捷倫電感耦合等離子體質(zhì)譜儀?ICP-MS-MS 8900在半導(dǎo)體企業(yè)用于超痕量元素分析

發(fā)布時間:2024-9-14

合作伙伴:半導(dǎo)體企業(yè)

儀器類型:電感耦合等離子體質(zhì)譜儀

品牌:安捷倫

型號:ICP-MS-MS 8900

2024年8月30日,國內(nèi)有名半導(dǎo)體企業(yè)購買我司的安捷倫電感耦合等離子體質(zhì)譜儀 ICP-MS-MS 8900, 用于水基體,有機試劑,高硅,高氟樣品超痕量元素分析。工程師使用經(jīng)驗證過的氫氣原位質(zhì)量法,氧氣質(zhì)量轉(zhuǎn)移,氨氦,高氦等多種模式解決客戶的應(yīng)用問題。

在反應(yīng)池中,氫氣 (H2 ) 和氧氣 (O2 )常被用作反應(yīng)氣。

分析物或干擾物在反應(yīng)池中與某一反應(yīng)氣發(fā)生反應(yīng),生成一個新質(zhì)量數(shù)的產(chǎn)物離子,通過這種質(zhì)量轉(zhuǎn)移或者原位質(zhì)量的方法,避開原質(zhì)量數(shù)的干擾。針對ICP-MS開發(fā)的碰撞/反應(yīng)池,能夠通過化學(xué)反應(yīng)去除特定干擾,解決分析中的難題。

氧氣質(zhì)量轉(zhuǎn)移?是一個涉及氧氣從氣相傳遞到液相的過程,這個過程既是一個傳遞過程,也是一個物質(zhì)擴散過程。氧氣質(zhì)量轉(zhuǎn)移的效率受到多種因素的影響,包括污水水質(zhì)、水溫、氧的分壓以及曝氣裝置的安裝深度等。

Agilent 8900 ICP-MS/MS 比單四極桿 ICP-MS 提供了更高的靈敏度、更低的背景和更出色的干擾物質(zhì)控制。這使得監(jiān)測更多數(shù)量的低濃度污染物元素成為可能,包括 Si、P、S 和 Cl 等難以分析的元素,并支持半導(dǎo)體行業(yè)推動更小尺寸器件架構(gòu)、更高產(chǎn)量和更高器件性能的發(fā)展。


應(yīng)用場景分析

1.水基體樣品分析: 在半導(dǎo)體制造過程中,水基體樣品如超純水(UPW)的質(zhì)量對產(chǎn)品質(zhì)量有著至關(guān)重要的影響。ICP-MS-MS 8900 能夠準(zhǔn)確測量UPW中的超痕量鉀、鈣、鐵、鎳等元素,確保水質(zhì)符合生產(chǎn)要求。

2.有機試劑樣品分析: 半導(dǎo)體制造過程中常常需要使用各種有機試劑。這些試劑中可能含有微量的金屬元素或其他雜質(zhì),對產(chǎn)品質(zhì)量產(chǎn)生不利影響。ICP-MS-MS 8900能夠檢測這些有機試劑中的超痕量元素,確保試劑的純度。

 

3.高硅樣品分析: 半導(dǎo)體材料如硅片在制造過程中需要嚴格控制其表面的金屬元素含量。ICP-MS-MS 8900的高靈敏度和低檢測限使得其能夠準(zhǔn)確測量硅片表面的超痕量元素,如磷、鈦等。同時,其強大的干擾控制能力能夠消除硅基質(zhì)對分析結(jié)果的干擾。


4.高氟樣品分析: 在某些特定的半導(dǎo)體制造過程中,可能需要使用含氟的化學(xué)品。ICP-MS-MS 8900能夠檢測這些高氟樣品中的超痕量元素,確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能不受影響。


綜合應(yīng)用分析,我們給安捷倫電感耦合等離子體質(zhì)譜儀ICP-MS-MS8900 配備了氫氟酸進樣能力(通過耐腐蝕部件實現(xiàn))、有機進樣系統(tǒng)和水基體進樣系統(tǒng),以滿足半導(dǎo)體行業(yè)及其他領(lǐng)域?qū)?fù)雜樣品中超痕量元素分析的需求。

可見譜標(biāo)科技不僅僅只銷售儀器,整個檢測技術(shù),方案應(yīng)用,方法開發(fā)等全面服務(wù)一 一提供。

570319569

TEL:400-800-3875

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